江门惠尔特拥有近三十年专注于硅溶胶研发与生产的经验,现已成长为 的硅溶胶制造商之一,致力于为CMP行业提供高性能解决方案。作为抛光液的核心磨料,具备稳定的分散体系、可控粒径和低金属杂质含量。
硅溶胶是纳米级、无定形二氧化硅颗粒,粒径可控,球形光滑,有效降低表面缺陷与划痕;
分散体系稳定,不易团聚,适应酸据体系及多种配方,易清洗、不易残留
产品技术特点
江门惠尔特硅溶胶具有体系稳定,定制化服务等优势,针对不同抛光场景,抛光体系做出解决方案,满足复杂工艺需求。
1.高纯度低杂质,保障精密抛光抛光液中的金属离子或有机残留会引发器件漏电、失效或表面二次损伤
江门惠尔特解决方案:
用高纯硅溶胶体系,显著降低金属杂质与有机污染;颗粒亲水性好、不易残留、易清洗,有效降低器件失效与清洗二次损伤。
2.可控粒径与稳定分散,兼顾高效与低缺陷
颗粒过大或团聚会导致划痕与凹坑,降低良率;颗粒过小或分散性差会导致抛光效率不足。
江门惠尔特解决方案:
窄粒径分布、适中硬度及高稳定分散体系,实现“高去除速率+低缺陷”平衡,同时减少大颗粒款阻风险并延长抛光液寿命。
3.关键指标可控,满足多场景抛光需求不同材料、不同工艺对抛光速率、缺陷控制和清洗性能要求差异大。
江门惠尔特解决方案:
通过粒径、浓度与表面改性等性能定制,实现关键指标司控。提开硅溶胶与不同添加剂的兼容性,以适配不同的独光场景和抛光工艺体系。
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